6月3日收盤數據顯示，半導體設備概念報跌，華亞智能（58.8，-3.17，-5.115%）領跌，中微公司(133.21，-5.4，-3.896%)、至純科技(36.43，-1.25，-3.317%)、深科達(38，-1.26，-3.209%)等跟跌。

　　相關半導體設備概念股有：

　　1、華亞智能：公司所屬行業具有資本與技術密集型特征，公司是江蘇省高新技術企業、江蘇省創新型企業、江蘇省半導體協會副理事單位、中國半導體協會成員單位。

　　2、中微公司：中微半導體設備股份有限公司是一家以中國為基地、面向全球的微觀加工高端設備公司，為集成電路和泛半導體行業提供極具競爭力的高端設備和高質量的服務。

　　3、至純科技：2019年5月7日公告，公司擬發行不超過3.56億元可轉債，扣除發行費用后的凈額用于投資半導體濕法設備制造項目以及晶圓再生基地項目。

　　數據由南方財富網提供，僅供參考，不構成投資建議，據此操作，風險自擔。股市有風險，投資需謹慎。